Ard -Anailís ar Theicneolaíocht Pacáistithe GRGTest Uasghrádú: Dúshláin Anailíse Ardphacáistithe Teip

Tá teacht chun cinn na dteicneolaíochtaí próisis ardleibhéil ar nós idirnaisc cholúin chopair tar éis miniaturization tríthoiseach na bhfeistí leictreonacha nua-aimseartha agus feabhsuithe feidhmíochta luathaithe i dtrealamh gaolmhar a thiomáint go mór. Mar sin féin, tá dúshláin tugtha isteach ag an dul chun cinn seo maidir le hanailís teip ar ardteicneolaíochtaí pacáistithe. Maidir le hiarratais phacáistithe ardleibhéil, d'fhéadfadh go mbeadh gá le doimhneachtaí próiseála níos mó ná 100 μm a bheith ag teastáil ó logánú teip, áit a bhfuil ian ian gallium traidisiúnta (GA⁺) dírithe ar bhíoma ian (FIB) chun logánú locht tapa a bhaint amach.

Eascraíonn an teorannú seo toisc go bhfeidhmíonn Ga⁺ FIB ag uasmhéid reatha bhíoma de ~ 100 NA faoi 30 keV, a éilíonn deich n -uaire an chloig chun limistéar 500 μm² a phróiseáil. I gcodarsnacht leis sin, úsáideann plasma FIB (PFIB) ian xeanón (XE⁺) mar fhoinse ian, ag seachadadh uasmhéid reatha bhíoma de ~ 2.5 μA ag 30 keV-níos mó ná 20 uair níos éifeachtaí ná Ga⁺ FIB. Cuireann an dul chun cinn seo ar chumas PFIB an scrogall a shárú de phróiseáil thraidisiúnta GA⁺ FIB: Mear-limistéar.

① Moirfeolaíocht thrasghearrthach TSV agus Anailís ar threoshuíomh criostail EBSD
Is féidir anailís mhoirfeolaíochta thrasghearrthach agus beacht a dhéanamh ar chumas trasghearrthach mór-toirte ardluais PFIB, anailís mhoirfeolaíochta tapa agus beacht a dhéanamh ar ViaS trí-silicon (TSV)-Struchtúr criticiúil i bpacáistiú ardleibhéil 2.5D\/3D. Ag an am céanna, is féidir anailís ar threoshuíomh criostail ar an trasghearradh a dhéanamh ag baint úsáide as probe díraonta seachtrach leictreon (EBSD), mar a léirítear i bhFigiúr 1.

*Figiúr.
b) Anailís EBSD (Mapáil IPF-Y) (Íomhánna le caoinchead: Thermo Fisher Scientific).*

② Ullmhúchán sampla Ultra-tanaí TEM i gceantar mór do 3D NAND (Sampláil Planview)
Feidhm chriticiúil eile de PFIB is ea ullmhú samplaí micreascópachta leictreon tarchuir (TEM). Baineann GRGTest amach anois ullmhúchán samplach TEM a bhaineann go sonrach leis an suíomh le faid agus leithid níos mó ná 50 μm, ag comhlíonadh na gceanglas maidir le breathnóireacht TEM réiteach adamhach.

*Figiúr 2. Sreabhadh próisis le haghaidh ullmhúchán samplach Ultra-tanaí de chuid an-tanaí (sampla: 3D NAND; Méid eastósctha PlanView ~ 50 μM):
a) muilleoireacht trinse; b) ardaitheoir agus eastóscadh; c) Aistriú go TEM Greille; d) tanú deiridh.*

Is é an córas PFIB ag Saotharlann Tástála agus Anailíse Wuxi IC GRGTest an córas úrscothach de chuid Thermo Fisher Helios 5 PFIB, an t-ardán XE-FIB is úire sa mhargadh faoi láthair. Baineann sé le réiteach íomháithe SEM faoi bhun 1 nm, le feidhmíocht agus uathoibriú ian optamaithe i gcomparáid lena réamhtheachtaí (Helios G4 DualBeam). Tá an t-ionradh ar nanomanipulator, córas insteallta gáis (GIS), agus probe speictreascópacht X-ghathaithe fuinnimh (EDX) atá scaipthe ar fhuinneamh, ag tabhairt aghaidh ar riachtanais anailíse teip leathsheoltóra bhunúsacha agus ardleibhéil.